| 发明名称 | 热处理方法和热处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明的课题是提供一种能够不损伤被处理体中所含的树脂地对被处理体进行光照射加热的热处理方法和热处理装置。本发明的解决方案是在腔室（10）内的保持板（20）与闪光灯（FL）之间，配置了去除波长在400nm以下的紫外光的光学过滤器（60）。从闪光灯（FL）射出的闪光在透过光学过滤器（60）时，400nm以下的波长区域的紫外光被去除。作为处理对象的被处理体（8）是通过在树脂基材的上面层叠功能层来构成。通过对被处理体（8）照射从照射时间极短的闪光中去除了波长在400nm以下的紫外光的光，能够不会对树脂基材产生因紫外光造成的损伤和热损伤地仅将功能层升温至需要的处理温度来实施所需要的热处理。 | ||
| 申请公布号 | CN103515203A | 申请公布日期 | 2014.01.15 |
| 申请号 | CN201310183179.4 | 申请日期 | 2013.05.17 |
| 申请人 | 大日本网屏制造株式会社 | 发明人 | 木村贵弘;涩田浩二;锹田豊 |
| 分类号 | H01L21/26(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 张永康;向勇 |
| 主权项 | 一种热处理方法，其通过对含有树脂的被处理体照射光来加热该被处理体，其特征在于，采用从光源射出的光中去除了损伤所述树脂的波长区域后的光，照射所述被处理体。 | ||
| 地址 | 日本国京都府京都市 | ||