一种基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器

摘要

本发明为一种基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，包括MEMS开关、T型结、参考移相位共面波导传输线、MEMS电容电感移相传输线、传输线直角转角、MEMS开关电极、引线、隔离电阻及介质衬底；参考移相位共面波导传输线及嵌入MEMS电容电感的移相传输线构成开关线型移相器的两条传输路径；MEMS开关设于T型结上，用于选通两条传输路径；传输线直角转角用于连接两段相互垂直的传输线；本发明的优点是：通过MEMS电容电感构成的相位延迟单元，有效地减小了移相器的整体尺寸；将几个基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器级联，可以得到小型化的基于MEMS电容电感移相单元的多位开关线型移相器。

主权项

一种基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，每个移相单元由两个对称的分单元连接组成，其特征在于，每个分单元包括一个T型结（2），T型结（2）的水平端连接信号的输入输出端（11），T型结（2）的上端连接第一MEMS开关（101）的触点端，T型结（2）的下端连接第二MEMS开关（102）的触点端，第一MEMS开关（101）的锚点端接MEMS电容电感移相传输线（4），MEMS电容电感移相传输线（4）的另一端连接第一传输线直角转角（501），第二MEMS开关（102）的锚点端连接参考移相位共面波导传输线（3），参考移相位共面波导传输线（3）的另一端连接第二传输线直角转角（502）；两个分单元之间通过第一传输线直角转角（501）和第二传输线直角转角（502）连接，即：第一分单元的第一传输线直角转角连接第二分单元的第一传输线直角转角，第一分单元的第二传输线直角转角连接第二分单元的第一传输线直角转角；第一MEMS开关电极（801）先与第一隔离电阻（901）连接，再通过两根第一引线（701）分别连接到两个分单元的第一MEMS开关（101）的下电极；第二MEMS开关电极（802）先与第二隔离电阻（902）连接，再通过两根第二引线（702）分别连接到两个分单元的第二MEMS开关（102）的下电极。