一种晶片研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种晶片研磨装置，包括研磨上盘和晶片夹持装置，晶片夹持装置包括圆盘本体、齿部、圆形通孔及片孔，研磨上盘上镶嵌有晶片频率探头，晶片频率探头对准圆形通孔的中心，圆形通孔中放置有与晶片厚度相同的石英晶体片。晶片频率探头会自动检测石英晶体片的频率，当探得的频率达到系统设定值时，停止研磨，实现了边研磨边控制厚度的目的，不仅防止了晶片刮伤，提高了合格率，又提高了研磨速度。

主权项

一种晶片研磨装置，包括研磨上盘和晶片夹持装置，所述晶片夹持装置包括圆盘本体、设置在圆盘本体边缘的一圈齿部、位于圆盘本体几何中心处的圆形通孔，及设置在圆盘本体上并环形阵列于至少一个同心圆上的片孔，所述同心圆与所述圆形通孔的圆心相同，其特征在于，所述研磨上盘上镶嵌有晶片频率探头，所述晶片频率探头对准所述圆形通孔的中心，所述圆形通孔中放置有与所述晶片厚度相同的石英晶体片。