发明名称 |
一种高纯碳化硅原料的制备方法 |
摘要 |
本发明提供一种高纯碳化硅原料的制备方法,所述方法包括如下步骤:提供高纯硅粉和高纯碳粉;所述高纯硅粉和高纯碳粉充分混合后放置于坩埚,于1400-2200℃的高温炉中形成一次碳化硅料,所述一次碳化硅料压碎后在氧化炉中经过600-1400℃的高温氧化,形成二次碳化硅料;所述二次碳化硅料在高真空炉中经过800-1600℃高温真空脱气,形成三次碳化硅料;所述三次碳化硅料经过湿法化学冶金处理,得到高纯碳化硅原料。 |
申请公布号 |
CN103508454A |
申请公布日期 |
2014.01.15 |
申请号 |
CN201210202086.7 |
申请日期 |
2012.06.19 |
申请人 |
上海硅酸盐研究所中试基地;中国科学院上海硅酸盐研究所 |
发明人 |
陈建军;王辉;孔海宽;忻隽;刘熙;肖兵;杨建华;施尔畏 |
分类号 |
C01B31/36(2006.01)I |
主分类号 |
C01B31/36(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
彭茜茜 |
主权项 |
一种高纯碳化硅原料的制备方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:提供高纯硅粉和高纯碳粉;所述高纯硅粉和高纯碳粉充分混合后放置于坩埚,于1400‑2200℃的高温炉中形成一次碳化硅料,所述一次碳化硅料压碎后在氧化炉中经过600‑1400℃的高温氧化,形成二次碳化硅料;所述二次碳化硅料在高真空炉中经过800‑1600℃高温真空脱气,形成三次碳化硅料;所述三次碳化硅料经过湿法化学冶金处理,得到高纯碳化硅原料。 |
地址 |
201800 上海市嘉定区城北路215号 |