多晶硅铸锭炉用石墨坩埚

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚，涉及多晶硅铸锭炉用石墨坩埚技术领域，它包括底板、四个侧板、螺钉、四个侧底端还开有数量不少于个半圆孔；四个侧板通过螺钉固定在底板上；底板四周开有沟槽、底板的四个边缘还设有滴漏槽，滴漏槽位置和半圆孔的位置对应；其特征在于沟槽为波浪形，每个波浪形的波谷分别对应着四个侧板的半圆孔；沟槽的波浪形波谷个数和半圆孔数量相等；沟槽的波谷开有流出槽，流出槽与滴漏槽相接。本实用新型所产生的有益效果是当发生硅液泄漏后，硅液能够快速的从石墨坩埚中流出，从而出发报警装置，避免引发泄漏事故。

主权项

一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚，它包括底板（1）、四个侧板（2）、螺钉（3）、每个侧板（2）底端还开有数量不少于4个半圆孔（21）；四个侧板（2）通过螺钉（3）固定在底板（1）上；底板（1）四周开有沟槽（11）；底板（1）的四个边缘还设有滴漏槽（12），滴漏槽（12）位置和半圆孔（21）的位置对应；其特征在于沟槽（11）为波浪形，每个波浪形的波谷分别对应着四个侧板（2）的半圆孔（21）；沟槽（11）的波浪形波谷个数和半圆孔（21）数量相等；沟槽（11）的波谷开有流出槽（13），流出槽（13）与滴漏槽（12）相接。