光学反射元件

摘要

光学反射元件具有反射镜部、使该反射镜部振动的一对高频振子以及一对低频振子。高频振子具有基材、形成于该基材上的下部电极层、压电体层、上部电极层即驱动电极、以及第1监视电极。低频振子的一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层及驱动电极、以及上部电极层即第2监视电极。低频振子的另一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层、驱动电极及第1监视电极、和作为抑制压电体层的压电作用影响第1监视电极的不灵敏带的绝缘体层。设置于低频振子上的第1监视电极从低频振子之上连接到引出电极。

主权项

一种光学反射元件，其特征在于，具有：框形状的支撑体；第1低频振子，第1端连接到所述支撑体的内侧；第2低频振子，第1端连接到所述支撑体的内侧；框体，外侧与所述第1、第2低频振子的第2端连接，配置于所述第1、第2低频振子之间；第1高频振子，第1端连接到所述框体的内侧；第2高频振子，第1端连接到所述框体的内侧；以及反射镜部，与所述第1、第2高频振子的第2端连接，配置于所述第1、第2高频振子之间，所述第1、第2高频振子具有用于使所述反射镜部绕所述第1、第2高频振子的第1中心轴转动的第1驱动部、和用于测定所述反射镜部的转动量的第1监视元件，所述第1驱动部具有基材、设置于所述基材之上的下部电极层、设置于所述下部电极层之上的压电体层、以及设置于所述压电体层之上的驱动电极，所述第1监视元件具有与所述第1驱动部共同的所述基材、所述下部电极层以及所述压电体层、和设置于所述压电体层之上的第1监视电极，所述第1、第2低频振子具有用于使所述框体和所述反射镜部绕与所述第1中心轴垂直的第2中心轴转动的第2驱动部，所述第2驱动部由与所述第1驱动部共同的所述基材、所述下部电极层、所述压电体层以及所述驱动电极构成，所述第1低频振子还具有与所述第1、第2高频振子共同的所述第1监视电极、以及形成于所述第1监视电极与所述压电体层之间且作为不灵敏带的绝缘体层，该不灵敏带抑制所述压电体层的压电作用影响所述第1监视电极，所述第2低频振子还具有用于测定所述框体和所述反射镜部的转 动量的第2监视元件，设置于所述第1低频振子上的所述第1监视电极从所述第1低频振子之上向所述支撑体延伸，并连接到设置于所述支撑体的引出电极。