用于运行和/或测量微机械装置的方法和微机械装置

摘要

建议一种用于运行和／或测量微机械装置的方法，其中，微机械装置具有可相对于衬底振动运动的第一振动质量和可相对于衬底同样振动运动的第二振动质量，其中，该微机械装置分别平行于驱动方向及根据第一定向具有用于偏转第一振动质量的第一驱动装置和用于偏转第二振动质量的第二驱动装置，其中，该微机械装置平行于驱动方向及根据与第一定向相反的第二定向地具有用于偏转第一振动质量的第三驱动装置和用于偏转第二振动质量的第四驱动装置，其中，该微机械装置具有用于检测第一振动质量的驱动运动的第一检测装置，其中，该微机械装置具有用于检测第二振动质量的驱动运动的第二检测装置，其中，为了运行和／或为了测量微机械装置，通过第一检测装置产生第一检测信号和通过第二检测装置产生第二检测信号，其中，第一检测信号与第二检测信号分开地求值。

主权项

用于运行和／或测量微机械装置(10)的方法，其中，该微机械装置(10)具有相对于衬底(100)可振动运动的第一振动质量(11)和相对于该衬底(100)同样可振动运动的第二振动质量(12)，其中，该微机械装置(10)分别平行于驱动方向(15)及按照第一定向具有用于偏转第一振动质量(11)的第一驱动装置(21)和用于偏转第二振动质量(12)的第二驱动装置(22)，其中，该微机械装置(10)平行于该驱动方向(15)及按照与第一定向相反的第二定向具有用于偏转第一振动质量(11)的第三驱动装置(23)和用于偏转第二振动质量(12)的第四驱动装置(24)，其中，该微机械装置(10)具有用于检测第一振动质量(11)的驱动运动的第一检测装置(31)，其中，该微机械装置(10)具有用于检测第二振动质量(12)的驱动运动的第二检测装置(32)，其特征在于，为了运行和／或测量该微机械装置(10)，通过第一检测装置(31)产生第一检测信号及通过第二检测装置(32)产生第二检测信号，其中，第一检测信号与第二检测信号被分开地求值。