发明名称 振动器件、电子设备
摘要 振动器件、电子设备。本发明提供没有可动电极的非线形动作、也不会使振动器件的大小增加并能够进行频率调整的振动器件。振动器件具备:振子(3),其具有能相对于基板移位的梁(39)、从上述梁延伸的梳齿状的可动电极(41、42)和固定在上述基板(60)上且插在上述可动电极的梳齿状电极之间的梳齿状的固定电极(31、32);振荡电路,其使上述振子进行振荡;以及偏置电路,其向上述可动电极与上述固定电极之间提供直流偏置电压。
申请公布号 CN103516325A 申请公布日期 2014.01.15
申请号 CN201310262863.1 申请日期 2013.06.27
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 野泽俊之
分类号 H03H9/02(2006.01)I 主分类号 H03H9/02(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 李辉;黄纶伟
主权项 一种振动器件,其具备:振子,其具有能够移位的梁、从所述梁延伸出的梳齿状的可动电极、和插在所述可动电极的梳齿状电极之间的梳齿状固定电极;振荡电路,其使所述振子进行振荡;以及偏置电路,其向所述可动电极与所述固定电极之间提供直流偏置电压。
地址 日本东京都