电浆激发装置

摘要

本实用新型公开了一种电浆激发装置，适于通一射频后对一真空的反应腔体提供均匀的磁场，所述电浆激发装置包括多个线圈单元，所述的多个线圈单元沿一轴线间隔排列于所述反应腔体的一侧面，每一线圈单元包括一沿所述轴线的方向延伸并环绕的螺线圈，所述螺线圈形成多个平行于所述侧面的第一长边，所述多个第一长边相间隔且相互平行，所述螺线圈的两端通电以产生磁场。本实用新型的电浆激发装置能够提供均匀时变的交流磁场，从而提高制程的良率。

主权项

一种电浆激发装置，适于通一射频后对一真空的反应腔体提供均匀的磁场，所述电浆激发装置包括：多个线圈单元，所述的多个线圈单元沿一轴线间隔排列于所述反应腔体的一侧面，每一线圈单元包括一沿所述轴线的方向延伸并环绕的螺线圈，所述螺线圈形成多个平行于所述侧面的第一长边，所述多个第一长边相间隔且相互平行，所述螺线圈的两端通电以产生磁场。