一种湿法处理设备中真空吸盘防堵塞系统

摘要

本发明涉及一种湿法处理设备中真空吸盘防堵塞系统，包括真空吸盘、气源、连接所述真空吸盘与气源的管路单元；所述管路单元区分为真空负压产生单元与真空管道清扫单元；所述真空管道上装有用于检测所述真空管道的气体压力的压力传感器；还包括一控制器，用于控制所述真空负压产生单元执行使连接所述真空吸盘的真空管道内产生负压的功能，并通过所述压力传感器检测所述真空管道内的气压值，当检测到所述气压值低于设定值时控制所述真空管道清扫单元执行引入压缩空气对所述真空管道进行清扫的功能。本发明通过引入压缩空气对真空管道清扫而使真空管道不会造成堵塞，因而不仅可吸附干燥的晶圆片，且能可靠地吸附沾有化学液的湿晶圆片。

主权项

一种湿法处理设备中真空吸盘防堵塞系统，其特征在于，包括真空吸盘、气源、连接所述真空吸盘与气源的管路单元；所述管路单元区分为真空负压产生单元与真空管道清扫单元；所述真空管道上装有用于检测所述真空管道的气体压力的压力传感器；还包括：一控制器，用于控制所述真空负压产生单元执行使连接所述真空吸盘的真空管道内产生负压的功能，并通过所述压力传感器检测所述真空管道内的气压值，当检测到所述气压值低于设定值时控制所述真空管道清扫单元执行引入压缩空气对所述真空管道进行清扫的功能。