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发明名称 SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING OXYGEN SENSOR IN EXHAUST LINE CONNECTING TO VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号 KR200470806(Y1) 申请公布日期 2014.01.15
申请号 KR20120006977U 申请日期 2012.08.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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