多阶调光罩

摘要

多阶调光罩系具备具有透光区域、遮光区域、及半透光区域之转印图案，其中透光区域、遮光区域及半透光区域系藉由设置于透明基板上之遮蔽曝光光线的遮光膜、及使一部分前述曝光光线透过的半透过膜所构成。前述半透过膜具有在前述曝光光线的波长区域中存有波长依存性之透过率，且前述半透光区域包含一区域，该区域具有在转印前述转印图案时所使用之曝光机的曝光光学条件下，显示实质上不会发生前述波长依存性之透过率的尺寸。