| 摘要 |
一种安排光学模组(12)于量测装置(10)中之方法，包含以下步骤：提供辐照系统(20)、参考组件(30)、以及侦测元件(32)于量测装置(10)，辐照系统(20)用于利用电磁辐射(24)辐照光学模组(12)，侦测元件(32)界定侦测表面(33)，侦测元件(32)相关于参考组件(30)设置于界定位置；设置光学模组(12)于量测装置(10)中，而使辐照系统(20)发射的辐射通过光学模组(12)，并照射到侦测表面(33,54)做为出射束(31)；量测出射束(31)相关于侦测表面(33,54)之位置；调整光学模组(12)在量测装置(10)内之位置，而使出射束(31)相关于侦测表面(33,54)之位置对应想要位置；以及建立位置参数，位置参数系界定光学模组(12)相关于参考组件(30)之位置。 |
