具有流体密封流动通道之基板容器

摘要

一种基板容器，包含一外壳及被形成在外壳中的出入结构，此出入结构并可提供流体出入通过外壳至基板容器的内部。出入结构包含一开口及一内部表面。一索环抵靠住出入结构之内部表面。