评估方法及曝光设备

摘要

一曝光设备包含原版台，系安装有具有供曝光使用之曝光原版，及具有被使用来评估该投射光学系统之光学性能的评估原版；第一驱动机构，系组构来驱动原版台于为扫描方向之第一方向上；以及第二驱动机构，系组构来驱动原版台上之评估原版于与第一方向正交之第二方向上，评估原版在第二方向上之宽度系小于曝光原版在第二方向上之宽度。