照明光学装置、曝光装置、曝光方法以及元件制造方法

摘要

本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明之照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为预定的偏光状态之偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度之多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交差的方向可相对移动的2个偏角棱镜。