射频功率源系统及使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室

摘要

一种应用于等离子体反应腔室上的射频功率源系统，采用频率合成或射频信号振荡器方式产生N个射频信号，并通过宽带功率放大器将该N个射频信号功率加以放大，随后分离该经过放大的信号。射频功率源系统的输出是具有多种频率的射频功率。可选地，这些频率是可以切换的，这样使用者就可以选择射频功率源系统所输出的频率。本发明进一步公开了一种使用该射频功率源系统的等离子体反应腔室。