照明系统及微影装置

摘要

本发明揭示一种照明系统，该照明系统包含：一偏振部件，该偏振部件包含第一偏振修改器及第二偏振修改器，该第一偏振修改器及该第二偏振修改器各自连接至一致动器，该致动器经组态以将一各别偏振修改器移动成与一辐射光束至少部分地相交，使得该偏振修改器将一经修改偏振施加至该辐射光束之至少一分率；及一个别可控制反射元件阵列，该个别可控制反射元件阵列经定位以在该辐射光束已通过该偏振部件之后接收该辐射光束；该照明系统进一步包含一控制器，该控制器能够控制该等致动器，使得该第一偏振修改器及该第二偏振修改器与该辐射光束之不同部分相交。