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发明名称
照明系统及微影装置
摘要
本发明揭示一种照明系统,该照明系统包含:一偏振部件,该偏振部件包含第一偏振修改器及第二偏振修改器,该第一偏振修改器及该第二偏振修改器各自连接至一致动器,该致动器经组态以将一各别偏振修改器移动成与一辐射光束至少部分地相交,使得该偏振修改器将一经修改偏振施加至该辐射光束之至少一分率;及一个别可控制反射元件阵列,该个别可控制反射元件阵列经定位以在该辐射光束已通过该偏振部件之后接收该辐射光束;该照明系统进一步包含一控制器,该控制器能够控制该等致动器,使得该第一偏振修改器及该第二偏振修改器与该辐射光束之不同部分相交。
申请公布号
TWI422993
申请公布日期
2014.01.11
申请号
TW100108164
申请日期
2011.03.10
申请人
ASML荷兰公司 荷兰;卡尔蔡司SMT有限公司 德国
发明人
莫德 汉尼 麦勒;汉森 史蒂芬 乔治;马肯斯 乔纳斯 凯瑟尼斯 哈伯特斯;迪关瑟 马克思
分类号
G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
林嘉兴 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
德国
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