加工终点检测方法、研磨方法及研磨装置

摘要

本发明系关于一种算出基板等加工对象物之被加工面的特性值，而检测加工终点(研磨停止、研磨条件的变更等)的时序之方法。此方法系使用基准被加工物或藉由模拟计算，产生用以表示出加工终点之反射强度与波长之间的关系之分光波形，并根据上述分光波形，选择成为反射强度的极大值及极小值之波长，从上述所选择的波长之反射强度中算出对于被加工面之特性值，并将被加工物的加工终点之特性值的时间变化之特征点设定为加工终点，于加工对象物的加工中藉由检测上述特征点而检测被加工物的加工终点。