氟气体生成装置

摘要

本发明系一种氟气体生成装置，其系藉由对熔盐中之氟化氢进行电解而生成氟气体者，其包含：电解槽，其于熔盐液面上分离而划分有引导由浸渍于熔盐中之阳极所生成之以氟气体作为主成分之主产气体的第1气室、与引导由浸渍于熔盐中之阴极所生成之以氢气体作为主成分之副产气体的第2气室；氟化氢供给源，其储存有用以补充至电解槽中之氟化氢；纯化装置，其捕获自电解槽之熔盐气化而混入至自上述阳极生成之主产气体中之氟化氢气体以将氟气体纯化；及回收设备，其将由纯化装置所捕获之氟化氢输送并回收至电解槽或氟化氢供给源中。