光罩及其制造方法、图案转印方法、以及显示装置之制造方法

摘要

一种光罩，其系藉由将形成于透明基板上之半透光膜图案化而形成预定图案，并具有透光部及半透光部，光罩系藉由透射该光罩之曝光光，于被转印体上形成线宽不到3μm之转印图案，该光罩包含有前述透光部或前述半透光部之至少一者具有不到3μm之线宽部份，且由透光部及半透光部构成之图案。