使用无源极和汲极接面场效电晶体之基本互补式逻辑闸之构造及其制造方法

摘要

本发明提出一种使用无源极、汲极接面之场效电晶体之基本互补式逻辑闸之构造及其制造方法，于半导体晶圆(wafer)上，形成无源极和汲极接面之N通道电晶体及无源极和汲极接面之P通道电晶体，在电晶体间以导电之连接结构互相连接，形成基本互补式逻辑闸(如inverter,NAND,NOR等逻辑闸)。