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发明名称 Exposure apparatus for forming pattern on printed-wiring board
摘要
申请公布号 EP0513965(B1) 申请公布日期 1996.04.24
申请号 EP19920301358 申请日期 1992.02.19
申请人 ORC MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 ABE, CHIAKI;WATANUKI, MINORU
分类号 G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
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