| 摘要 |
本发明之课题是实现均一性优良之电浆掺杂。;本发明之解决手段是从气体供给装置2和16，将指定之气体导入到真空容器1内，利用作为排气装置之轮机分子泵3，经由排气口11进行排气，利用调压阀4用来将真空容器1内保持在指定之压力。利用高频率电源5将13.56MHz之高频率电力供给到被设在面对试料电极6之介电质窗7之附近之线圈8，藉以在真空容器1内产生感应耦合型电浆，介电质窗7由多个之介电板构成，至少在互相面对之2片之介电板之至少一面形成有沟，利用上述之沟和与上述之沟面对之平坦面用来构成气体流路，同时被设在最接近试料电极之介电板之气体吹出口15、19在介电质窗内连通到该沟。从气体吹出口15和19导入之气体之流量可以独立地控制，从而可以提高处理之均一性。 |
