奈米微影系统以及奈米微影方法

摘要

本发明提供一种奈米微影系统，可用以涂布一材料于一基板上。本发明之奈米微影系统包含一涂布结构以及一光束聚焦装置，其中，该涂布结构系以固体状之该材料所制成，并且其具有一接触点用以接触该基板。该光束聚焦装置能发出一光束，并且能将该光束聚焦于该涂布结构之该接触点上以熔化该接触点上之该材料。当该接触点之该材料被熔化并该接触点接触该基板时，该材料能涂布于该基板与该接触点接触之位置。