摘要 |
本发明提供检查用夹具,该检查用夹具能因应基板之细微化及复杂化,并形成构件个数减少的简洁化构造。;为解决上述课题,本发明系连接被检查对象之检查体与检查装置的检查用夹具,其特征在于:接触件包含:外侧筒体,在两端设有开口部;及内侧筒体,收纳于外侧筒体之内侧,并且配置成从外侧筒体之两端分别突出;其中,内侧筒体具有:与检查点接触的第一筒部,在内侧筒体之长边方向上伸缩的第一伸缩部,另一端抵接于电极部的第二筒部,在该接触件之长边方向上伸缩的第二伸缩部,及将第一伸缩部与该第二伸缩部连通连结的第三筒部;且第一筒部、第一伸缩部、第三筒部、第二伸缩部及第二筒部由一个筒构件形成,第三筒部形成有固定外侧筒体与该内侧筒体的连接部。 |