发明名称 |
辅助载台与辅助载台之使用方法 |
摘要 |
一种辅助载台用于承载电子显微镜试片,辅助载台系由一底座和一支撑座组合而成,底座包含一第一上表面,支撑座包含一第二上表面和一侧表面,支撑座固着于底座之第一上表面,并且支撑座之侧表面本质上垂直底座之第一上表面,使得辅助载台呈一倒T形,其中支撑座之第二上表面设有一狭缝,一试片载台固定于狭缝中,一试片放置于试片载台上。 |
申请公布号 |
TWI423381 |
申请公布日期 |
2014.01.11 |
申请号 |
TW099113250 |
申请日期 |
2010.04.27 |
申请人 |
华亚科技股份有限公司 桃园县龟山乡复兴三路667号 |
发明人 |
黄烺育;王玉森 |
分类号 |
H01L21/683;C23C14/50 |
主分类号 |
H01L21/683 |
代理机构 |
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代理人 |
吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3;戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3 |
主权项 |
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地址 |
桃园县龟山乡复兴三路667号 |