发明名称 辅助载台与辅助载台之使用方法
摘要 一种辅助载台用于承载电子显微镜试片,辅助载台系由一底座和一支撑座组合而成,底座包含一第一上表面,支撑座包含一第二上表面和一侧表面,支撑座固着于底座之第一上表面,并且支撑座之侧表面本质上垂直底座之第一上表面,使得辅助载台呈一倒T形,其中支撑座之第二上表面设有一狭缝,一试片载台固定于狭缝中,一试片放置于试片载台上。
申请公布号 TWI423381 申请公布日期 2014.01.11
申请号 TW099113250 申请日期 2010.04.27
申请人 华亚科技股份有限公司 桃园县龟山乡复兴三路667号 发明人 黄烺育;王玉森
分类号 H01L21/683;C23C14/50 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人 吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3;戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3
主权项
地址 桃园县龟山乡复兴三路667号