微晶矽薄膜镀膜之生成方法及其生成装置

摘要

一种微晶矽薄膜镀膜之生成方法及其生成装置，系以永久磁铁型螺旋波电浆(Permanent Magnet Type Helicon Plasma)技术构装之生成装置，利用永久磁铁型螺旋波电浆源高密度电浆之特性，可使制程所需之氢气稀释比相当低，在搭配本发明生成方法镀制微晶矽薄膜下系具有快速、低温且可应用于大面积沉积之功效，可在基板表面进行大面积之微晶矽薄膜沉积。