静电夹盘

摘要

一种静电夹盘包括：一底板；一个具有可挠性、覆盖该底板之表面的电极层；及一个用于将该电极层电连接至电源侧之电源供应单元。该电源供应单元包括一个包括导线之连接件及待用于连接至该电源侧之导电组件。该导线被连接至该电极层之一电极，且自该电极层之侧边缘延伸。该导电组件与该导线电连接，且将该沿着该底板之侧表面弯曲的连接件固定至该底板。