半导体元件及其制造方法

摘要

一种半导体元件包括：半导体结构单元；内连线层，提供于半导体结构单元的主要表面侧；电极垫，提供于与提供有半导体结构单元的表面相对之一侧的内连线层的表面上，且电极垫电性连接至内连线层；彼此分离的多个金属柱，连结至电极垫；以及外部端子，共同地提供于这些金属柱的顶端，这些金属柱的上视面积小于外部端子的上视面积。