摘要 |
L'invention se situe dans le domaine des dispositifs imageurs numériques, notamment des dispositifs destinés à l'imagerie médicale par rayons X. Elle concerne un dispositif imageur comprenant des pixels adressés individuellement par des circuits d'adressage et un procédé de réalisation d'un tel dispositif imageur par photolithographie. Le dispositif imageur comporte un capteur (61) de superficie supérieure ou égale à 10 cm et comprenant : * une zone image (23) réalisée sur un seul substrat (22) et comportant un ensemble de pixels (24) agencés selon des lignes et des colonnes, le nombre de pixels par colonne n'étant pas uniforme pour toutes les colonnes de pixels, chaque pixel (24) collectant des charges électriques générées par un élément photosensible, * des conducteurs de ligne reliant les pixels ligne par ligne, * des conducteurs de colonne reliant les pixels colonne par colonne, * des blocs (12) d'adressage de lignes reliés aux conducteurs de lignes pour adresser individuellement chaque ligne de pixels, et * des blocs de lecture de colonnes reliés aux conducteurs de colonne pour lire les charges électriques collectées par les pixels (24) de la ligne sélectionnée par les blocs (12) d'adressage de lignes, les blocs (13) de lecture de colonnes étant situés à la périphérie de la zone image (23), les blocs (12) d'adressage de lignes et les blocs (13) de lecture de colonnes étant réalisés sur le même substrat (22) que la zone image. |