发明名称 СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОЭМИТТЕРА С ОТРИЦАТЕЛЬНЫМ ЭЛЕКТРОННЫМ СРОДСТВОМ ДЛЯ ИНФРАКРАСНОГО ДИАПАЗОНА
摘要 Способ изготовления фотоэмиттера с отрицательным электронным сродством для инфракрасного диапазона, заключающийся в нагреве поверхности подложки (основы) из легированного арсенида галлия с дырочной проводимостью (p-GaAs), в снижении температуры до комнатной, в напылении на поверхность подложи поочередно атомов цезия и кислорода, в измерении тока фотоэмиссии с поверхности, отличающийся тем, что подложку нагревают до повышения концентрации мышьяка на поверхности более чем 1,5 раза, затем фиксируют состав поверхности резким снижением температуры подложки до комнатной температуры, затем напыляют поочередно атомы цезия и кислорода дозами долей монослоя до образования цезиевой пленки моноатомной толщины, затем эмиттер помещают на несколько минут в атмосферу инертного газа.
申请公布号 RU2012127173(A) 申请公布日期 2014.01.10
申请号 RU20120127173 申请日期 2012.06.29
申请人 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" 发明人 Волков Степан Степанович;Аристархова Алевтина Анатольевна;Гололобов Геннадий Петрович;Китаева Татьяна Ивановна;Николин Сергей Васильевич;Суворов Дмитрий Владимирович;Тимашев Михаил Юрьевич
分类号 H01L31/18 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
地址