| 摘要 |
1. Кантилевер для токовой нанолитографии, представляющий собой основание, к которому прикреплена балка, на дальнем от основания конце которой расположена игла, с нанесенным на поверхность кантилевера алмазоподобным углеродным покрытием (DLC), а со стороны, обращенной к приемнику излучения, отражающим покрытием, отличающийся тем, что алмазоподобное углеродное покрытие нанесено на всю поверхность кантилевера и состоит, по крайней мере, из одного нелегированного и одного легированного азотом слоя, толщина каждого легированного и нелегированного слоя составляет от 15 до 50 нм, общая толщина наноразмерного алмазоподобного углеродного покрытия составляет 30-100 нм, при этом покрытие выполнено с возможностью регулирования электропроводности в пределах от 0,15 до 10 (1/Ом·см) за счет изменения толщины отдельных слоев.2. Кантилевер для токовой нанолитографии по п. 1, отличающийся тем, что форма балки может быть выполнена как в прямоугольном, так и в V-образном виде. |
