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Mikroelektromechanischer Drehratensensor, umfassend–einen ersten Halbleiterkörper (1), der einen mechanischen Oszillator (2) mit mindestens einem oszillierenden Element (3) aufweist, wobei der mechanische Oszillator (2) mindestens eine erste Schwingungsmode (10) und eine zweite Schwingungsmode (11) besitzt, im Betrieb eine Anregung einer Schwingung der ersten Schwingungsmode (10) vorgesehen ist und eine Rotation des Drehratensensors eine Kopplung der ersten und der zweiten Schwingungsmode (10, 11) bewirkt, und–einen zweiten Halbleiterkörper (4), der mit dem ersten Halbleiterkörper (1) verbunden ist und eine integrierte Schaltung (5) mit mindestens einer Meßelektrode (6) aufweist, mittels der eine Schwingung der zweiten Schwingungsmode (11) kapazitiv erfaßt wird und die in einem dem oszillierenden Element (3) gegenüberliegenden Bereich des zweiten Halbleiterkörpers (4) angeordnet ist, wobei der erste Halbleiterkörper (1) als Antriebsmittel für den mechanischen Oszillator (2) mindestens eine Elektrode (13) aufweist, die mit der integrierten Schaltung (5) des zweiten Halbleiterkörpers (4) elektrisch leitend verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß der mechanische Oszillator (2) als Pendel oder Doppelpendel ausgebildet ist, wobei das Pendel beziehungsweise das Doppelpendel jeweils als einseitig eingespannter Biegebalken mit einem verbreiterten freien Ende geformt ist und mehrere Öffnungen (15) umfasst, und der erste und der zweite Halbleiterkörper (1, 4) mittels einer vakuumdichten eutektischen Verbindung verbunden sind, so daß der mechanische Oszillator (2) in einer Vakuumumgebung gelagert ist. |
