发明名称 Testvorrichtung
摘要 Testvorrichtung zum Testen von Solarzellen oder anderen elektronischen Vorrichtungen, umfassend – einen Träger (16), der im Wesentlichen flach ist und eingerichtet ist, um auf einer Oberfläche desselben wenigstens ein Substrat (150) oder eine andere elektrisch zu testende Vorrichtung direkt oder indirekt zu tragen, wobei der Träger (16) mehrere Durchgangslöcher (22) umfasst, von denen jedes für ein Einführen einer entsprechenden elektrischen Testsonde (42) der Testvorrichtung ausgelegt ist, um eine Verbindung und/oder einen Kontakt einer jeden Sonde (42) mit einem entsprechenden Testbereich des Substrats (150) zu ermöglichen, – ein Trägernest (18), das Testlöcher (23) umfasst, und – Saugmittel (50), die mit dem Träger (16) in Zusammenhang stehen und eingerichtet sind, um eine Haltewirkung durch einen Unterdruck an einer Seite des Substrats (150) auszuüben, um dem durch die Testsonden (42) auf die Testbereiche ausgeübten Druck entgegenzuwirken, wobei die Saugmittel (50) in Abstimmung mit jedem Durchgangsloch (22) des Trägers (16) angeordnet sind. wobei die Saugmittel (50) operativ durch eine Saugleitung (52) mit im Trägernest (18) vorgesehenen Sauglöchern (24) verbindbar sind, und wobei die Saugleitung (52) mit Saugbereichen versehen ist, die sich um jedes der Testlöcher (23) herum erstrecken.
申请公布号 DE202010018093(U1) 申请公布日期 2014.01.09
申请号 DE20102018093U 申请日期 2010.09.02
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人
分类号 G01R31/28;H01L21/683;H02S50/10 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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