发明名称
摘要
申请公布号 JP2780236(B2) 申请公布日期 1998.07.30
申请号 JP19930008634 申请日期 1993.01.21
申请人 发明人
分类号 C23C16/46;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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