具有握持器之半导体制造装置

摘要

[目的]提供容易把握握持器之顺序控制上之错误原因的具有新形态之握持器的半导体制造装置。[构造]在制程室内具有将晶圆装载或卸下之握持器及检出各握持器位置之开关的半导体制造装置，其特征为具有将上述开关各动作状态显示之显示手段，上述显示手段包含：复数个继电器，其乃对应连结于该等开关，并且对应由上述各开关传来显示该握持器位置之所定电讯之发生而动作；及与此等继电器分别连结之复数个发光二极体(LED)。

主权项

1.一种半导体制造装置,其具有一制程室及一将晶圆下载至该制程室或从该制程室上载出晶圆的握持器,包含:用于检测该握持器之位置且产生检测信号之复数个开关;及用于显示该等开关之正常动作之机构。2.如申请专利范围第1项之半导体制造装置,其中该显示机构包含复数个继电器,其等系依每一个该检测信号之电压准位而动作;及用于辨别该握持器之正常动作的复数个发光二极体(LED),其等分别与该等继电器联结。图式简单说明:第一图为化学蒸气沈积装置之装卸叉驱动组件之侧面示意图。第二图为本创作之微限开关状态显示之电路图。