一种大数值孔径的纯折射式投影光学系统

摘要

本发明涉及一种大数值孔径的纯折射式投影光学系统，该投影光学系统数值孔径大，达到0.93，投影光学系统在靠近物方和靠近像方各有一个凸起部分，而在它们之间有一个凹陷的腰身。从物面到像面具体可依次划分为五个镜组，其中，系统的腰身位于第三个镜组，它是一个具有负光焦度的镜组，有利于帮助系统矫正场曲。本发明中的投影光学系统数值孔径高、像差小且结构紧凑，可有效地降低制造成本，降低镜片的加工、检测和装调难度。

主权项

一种大数值孔径的纯折射式投影光学系统，用于将位于物平面的图案投影到像平面上，所述大数值孔径的投影光学系统包括第一透镜组（G1）、第二透镜组（G2）、第三透镜组（G3）、第四透镜组（G4）和第五透镜组（G5），其特征在于：从光束入射方向的第一透镜组（G1）没有光焦度，第二透镜组（G2）、第三透镜组（G3）、第四透镜组（G4）都具有正光焦度，第五透镜组（G5）也为没有光焦度的平板玻璃，所述大数值孔径的投影光学系统包含了26片透镜，其中包含有17个非球面透镜。