准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构

摘要

本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板，所述石墨平台底部设有下发热体，所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接，可随升降立柱一起上下移动。本实用新型结构合理，形成了一个动态六面热场，六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体，三组发热体均可独立控制，整个热场横向温度梯度小，熔化硅料时间短，提高单晶率，缩短工艺周期，提高了设备的生产效率。

主权项

一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板，所述保温体为箱体型，其内部的上方固定设有上发热体，保温体四周固定设有侧发热体，保温体中部设有石墨平台，石墨平台上平面置有石英坩埚，石英坩埚的四周设有坩埚护板，坩埚护板的上方设有坩埚盖板，其特征在于：所述石墨平台底部设有下发热体，下发热体、石墨平台与升降立柱连接，可上下移动。