发明名称 |
La<sub>2</sub>Zr<sub>2</sub>O<sub>7</sub>缓冲层薄膜的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种La2Zr2O7缓冲层薄膜的制备方法,采用镧、锆的无机盐为原料制备得到La2Zr2O7缓冲层薄膜前驱液,结合浸渍提拉法或旋转涂覆法,在铝酸镧、钛酸锶单晶基片上或镍钨合金基带上制备凝胶薄膜后干燥,最后经过热处理,即得到织构化的La2Zr2O7缓冲层薄膜;本发明La2Zr2O7缓冲层薄膜的制备方法,采用硝酸氧锆和硝酸镧等小分子盐为原料,即可获得较高浓度的溶液,且单次镀膜-热处理便可获得100-200nm厚度的La2Zr2O7缓冲层薄膜,减少了镀膜周期,降低了工业成本,且其制备工艺简单,便于实施。 |
申请公布号 |
CN103497000A |
申请公布日期 |
2014.01.08 |
申请号 |
CN201310426142.X |
申请日期 |
2013.09.17 |
申请人 |
西安理工大学 |
发明人 |
张卫华;陈源清;李蒙娟 |
分类号 |
C04B41/50(2006.01)I;C23C18/12(2006.01)I |
主分类号 |
C04B41/50(2006.01)I |
代理机构 |
西安弘理专利事务所 61214 |
代理人 |
李娜 |
主权项 |
La2Zr2O7缓冲层薄膜的制备方法,其特征在于,采用镧、锆的无机盐为原料,结合溶胶‑凝胶法制备La2Zr2O7缓冲层薄膜;具体按照以下步骤实施:步骤1,La2Zr2O7缓冲层薄膜前驱液的制备1.1将硝酸氧锆、乙酰丙酮和丙酸混合后在40℃~80℃恒温条件下回流搅拌4~6小时,然后冷却至室温,得到澄清Zr溶液;1.2将硝酸镧加入到丙酸溶剂中,室温下搅拌2~4小时,得到澄清的La溶液;1.3将1.1得到的Zr溶液和1.2得到的La溶液混合得到混合溶液A,然后以甲醇为稀释溶剂,根据镀膜厚度需要加入混合溶液A中,室温下搅拌2~6小时,即得到La2Zr2O7缓冲层薄膜前驱液;步骤2,La2Zr2O7干膜的制备以步骤1得到的La2Zr2O7缓冲层薄膜前驱溶液作为前驱溶液,结合浸渍提拉法或旋转涂覆法,在铝酸镧、钛酸锶单晶基片上,或镍钨合金基带上,制备得到La2Zr2O7凝胶薄膜,随后将其在80~100℃的温度下干燥5~20min,得到La2Zr2O7干膜;步骤3,La2Zr2O7干膜热处理将步骤2得到的La2Zr2O7干膜放入马弗炉或石英管式烧结炉中进行热处理,在保护性气氛条件下,以10℃/min的速率将炉内温度升高到900‑1200℃并保温30min,保温结束后,随炉自然冷却至室温后,即可在相应基片或基带上得到织构化的La2Zr2O7缓冲层薄膜;为增加膜厚,重复以上过程1‑2次。 |
地址 |
710048 陕西省西安市金花南路5号 |