一种在透射电镜中通过电子束诱导液相沉积制备SiCx纳米材料的方法

摘要

本发明公开了一种在透射电镜中通过电子束诱导液相沉积（LP-EBID）制备SiCx多元素纳米材料的方法。将SiCl4在有机溶剂中的溶液作为液体前驱体装载到液体样品池内，然后，聚焦电子束轰击前驱体，前驱体分解，使得多元素SiCx纳米材料在Si3N4薄膜窗口上进行可控沉积。透射电镜具有很高的原位空间成像分辨率，可对材料的电子束诱导沉积（EBID）过程进行原位监控观察。此外，本发明可用于可控制备不同形状、多元素的纳米材料，以及用于制备纳米器件的核心材料。

主权项

一种在透射电镜中通过电子束诱导液相沉积可控制备SiCx纳米材料的方法。