声音传感器及其制造方法

摘要

在基板42上以从基板42的表面贯通至基板42的背面的方式设置有空洞44。在空洞44的上方，并在基板42的上方设置有感知声音振动的薄膜状的膜片43。空洞44的至少一个壁面由第一斜面47a和第二斜面47b构成，第一斜面47a在基板42的表面和基板42的厚度方向中间部之间，并随着从基板42的表面朝向所述中间部而逐渐向基板42的外侧变宽，所述第二斜面47b在所述中间部的和基板42的背面之间，并随着从所述中间部朝向基板42的背面而逐渐向基板42的内侧变窄。另外，空洞44的背面开口宽度小于表面开口宽度。

主权项

一种声音传感器，具有：基板，具有从表面贯通至背面的空洞，薄膜状的膜片，以覆盖所述空洞的方式配置在所述基板的表面侧，变换单元，基于所述膜片的位移变化来将声音振动变换为电信号；其特征在于，所述空洞具有多个壁面，所述壁面中的至少一个壁面由第一斜面和第二斜面构成，所述第一斜面在所述基板的表面和所述基板的厚度方向中间部之间，并随着从所述基板的表面朝向所述中间部而逐渐向所述基板的外侧变宽，所述第二斜面在所述中间部和所述基板的背面之间，并随着从所述中间部朝向所述基板的背面而逐渐向所述基板的内侧变窄，在与由所述第一斜面以及第二斜面构成的壁面垂直的截面中，所述空洞在所述基板的背面上的开口宽度小于所述空洞在所述基板的表面上的开口宽度。