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发明名称
摘要
申请公布号	JP2963499(B2)	申请公布日期	1999.10.18
申请号	JP19900190839	申请日期	1990.07.20
申请人	HITACHI SEISAKUSHO KK	发明人	FUJIWARA AKIO;ISADA NAOYA;ISHIKAWA YASUSHI
分类号	C23C14/46;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/46	主分类号	C23C14/46
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