悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板

摘要

本实施方式涉及的研磨液含有磨粒、添加剂和水，磨粒满足下述条件（a）或（b）中的至少任意一个。（a）在磨粒的含量被调节至1.0质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长400nm的光的吸光度在1.50以上的同时，在磨粒的含量被调节至1.0质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长500nm的光的透光率在50%/cm以上。（b）在磨粒的含量被调节至0.0065质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长290nm的光的吸光度在1.000以上的同时，在磨粒的含量被调节至1.0质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长500nm的光的透光率在50%/cm以上。

主权项

一种悬浮液，含有磨粒和水，其中，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，且，在所述磨粒的含量调节至1.0质量%的水分散液中，所述磨粒，是使该水分散液对于波长400nm的光的吸光度在1.50以上的物质，且，在所述磨粒的含量调节至1.0质量%的水分散液中，所述磨粒，是使该水分散液对于波长500nm的光的透光率在50%／cm以上的物质。