| 发明名称 | 有机EL元件的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种有机EL元件的制造方法，所述有机EL元件具有包括上部电极和下部电极的一对电极、以及设置在所述一对电极之间的有机功能层，所述制造方法中，使用磁控溅射法，以4.5W/cm2以上且9.0W/cm2以下的成膜功率密度，在有机功能层上形成上部电极。 | ||
| 申请公布号 | CN103503566A | 申请公布日期 | 2014.01.08 |
| 申请号 | CN201280017672.2 | 申请日期 | 2012.11.06 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 青沼昌树 |
| 分类号 | H05B33/10(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/26(2006.01)I | 主分类号 | H05B33/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 徐健;段承恩 |
| 主权项 | 一种有机EL元件的制造方法，所述有机EL元件具有包括上部电极和下部电极的一对电极、以及设置在所述一对电极之间的有机功能层，所述制造方法包括:使用磁控溅射法，以4.5W/cm2以上且9.0W/cm2以下的成膜功率密度，在所述有机功能层上形成所述上部电极的步骤。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||