用于示踪气体泄漏检测的校准系统和方法

摘要

本申请涉及用于示踪气体泄漏检测的校准系统和方法。具有气体泄漏检测器的校准系统提供示踪气体泄漏检测，该检测器具有：测试端口，接收包含示踪气体的样品并与真空泵联接；校准泄漏，提供包含示踪气体的校准样品；质量过滤器，在操作模式下与测试端口联接以接收测试样品，并在校准模式下通过校准泄漏阀与校准泄漏联接以接收校准样品，质量过滤器具有可控的示踪气体传送并提供经过滤的样品；检测器，检测经过滤的样品中的示踪气体并提供检测器信号；可编程增益元件，响应于检测器信号提供泄漏速率的测量值；控制器，响应于模式控制信号在校准模式下操作泄漏检测器，该控制器被配置来利用校准泄漏而在两个或更多个工作范围内校准泄漏检测器。

主权项

一种示踪气体泄漏检测器，包括：测试端口，其接收包含示踪气体的测试样品；真空泵，其与所述测试端口联接；校准泄漏，其提供包含所述示踪气体的校准样品；质量过滤器，其在操作模式下与所述测试端口联接以接收所述测试样品，并在校准模式下通过校准泄漏阀与所述校准泄漏联接以接收所述校准样品，所述质量过滤器具有可控的示踪气体传送，并且提供经过滤的样品；检测器，其检测所述经过滤的样品中的所述示踪气体，并且提供检测器信号；可编程增益元件，其响应于所述检测器信号而提供泄漏速率的测量值；以及控制器，其被配置成响应于模式控制信号而在所述校准模式下操作所述泄漏检测器，其中，所述控制器被配置成利用所述校准泄漏来在两个或更多个工作范围内校准所述泄漏检测器。