磁控溅射真空室均匀进气装置

摘要

磁控溅射真空室均匀进气装置，一消音过滤器的排气口与气动挡板阀的进气口相接，气动挡板阀的出气口与一排气管的一端相接，排气管的另一端与一只层流管的入口端相接，层流管具有一只一端开口的外套管，在外套管内装有一只内套管，内套管与外套管间形成有封闭的环形空腔，内套管的管壁上开有一组第一排气孔，外套管的管壁上开有一组第二排气孔。由本进气装置向磁控溅射真空室内供气时，由排气管排出的气流先进入内套管内，然后通过内套管上的第一排气孔进入到环形空腔中，再由外套管上的第二排气孔较均匀地进入到真空室内，这样进入到真空室内的气流的流速可得到较大程度的减缓，从而大大减轻了因气流冲击带来的设备及产品的震动。

主权项

磁控溅射真空室均匀进气装置，一消音过滤器的排气口与气动挡板阀的进气口相接，气动挡板阀的出气口与一排气管的一端相接，其特征在于：排气管的另一端与一只层流管的入口端相接，层流管具有一只一端开口的外套管，在外套管内装有一只内套管，内套管与外套管间形成有封闭的环形空腔，内套管的管壁上开有一组第一排气孔，外套管的管壁上开有一组第二排气孔，外套管的开口端为层流管的入口端。