发明名称 一种高真空系统
摘要 一种高真空系统,包括多个罗茨真空泵,多个旋片泵,滑阀泵;多个旋片泵与滑阀泵并联连接后与所述的多个罗茨真空泵串联连接,罗茨真空泵的一端密封连接有反应器。该高真空系统包括多个串联的罗茨真空泵,真空度高,噪音低,能耗维修成本低,真空度最低可达0.1pa。
申请公布号 CN203379623U 申请公布日期 2014.01.08
申请号 CN201320321873.3 申请日期 2013.06.05
申请人 宁波大红鹰生物工程股份有限公司 发明人 张源仁;包方杰;杨伟潇;李家培
分类号 B01D3/12(2006.01)I 主分类号 B01D3/12(2006.01)I
代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人 曾少丽
主权项 一种高真空系统,其特征在于,包括多个罗茨真空泵,多个旋片泵,滑阀泵;所述的多个旋片泵与滑阀泵并联连接后与所述的多个罗茨真空泵串联连接。
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