| 发明名称 | 碳化硅基板的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种制造碳化硅基板的方法，包括制备单结晶碳化硅的晶块（1）的步骤和通过切割晶块（1）获得基板的步骤。然后，在获得基板的步骤中，在如下方向上进行切割：该方向相对于晶块（1）的<11-20>方向或<1-100>方向所形成的角度在{0001}面上的正投影中是15°±5°。 | ||
| 申请公布号 | CN103503119A | 申请公布日期 | 2014.01.08 |
| 申请号 | CN201280021347.3 | 申请日期 | 2012.05.09 |
| 申请人 | 住友电气工业株式会社 | 发明人 | 冲田恭子 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 王伟;安翔 |
| 主权项 | 一种碳化硅基板的制造方法，包括如下步骤：制备单结晶碳化硅的结晶（1）；以及通过切割所述结晶（1）来获得基板（3），在所述获得基板（3）的步骤中，在如下方向上进行切割：所述方向相对于所述结晶（1）的<11‑20>方向或<1‑100>方向所形成的角度在{0001}面上的正投影中是15°±5°。 | ||
| 地址 | 日本大阪府大阪市 | ||