发明名称 一种用于磨削和刨削基片的组合机床
摘要 本发明涉及一种磨削机床,其包括至少一个呈平行六面体箱体(12)形式的基本单元(10),带有第一载运和卸载表面(14);第二对置的平行表面(16)用于进入位于中间部分(24)的工作区;以及第三和第四表面(18、20)。载运台(48)和卸物台(56)分别由载运臂(50)和卸载臂(58)支承,它们相互独立操作,且接近第一表面(14)侧。机构(28、30)位于箱体(12)的中间部分(24)的下部分,而自动机安排在上部分,机构和自动机安置在第二表面(16)侧。
申请公布号 CN1296434A 申请公布日期 2001.05.23
申请号 CN99804635.3 申请日期 1999.03.30
申请人 斯蒂格电子系统有限责任公司 发明人 马克·佩尔蒂埃;卢西恩·格里塞尔
分类号 B24B37/04;B24B41/02;B24B53/007;//H01L21/304 主分类号 B24B37/04
代理机构 柳沈知识产权律师事务所 代理人 何秀明
主权项 1、一种用于磨削和刨削基片的机床,所述机床包括:至少一个转动磨削盘(38),基片置于所述磨削盘上而被磨削;一个可移动的磨削头(40),所述磨削头(40)在一个升高的位置和一个降低的位置之间移动,并且其上布置有一个用来支撑基片的支撑部件(42);一个可转动的磨削臂(44),所述磨削臂(44)可移动磨削头(40),以从载运台(48)上拣取将要被磨削的基片,并且在基片被磨削后将其送入卸物台(56)上;至少一个用来驱动磨削盘(38)及磨削头(40)的支撑元件(42)的机构(28,30),所述机构用于磨削臂(44)及载运台(48)和卸物台(56)的交替运动;一个在磨削过程中用来控制机构(28,30)的控制器(34);其特征在于:该机床包括至少一个呈平行六面体箱体(12)形式的基本单元(10,10A,10B,10C),平行六面体箱体(12)具有一个第一载运和卸载表面(14),一个用来进入位于中间隔室(24)中的工作区的相对平行的第二表面(16),以及第三和第四表面(18,20),所述第三和第四表面(18,20)包括与所述的第一和第二表面(14,16)相垂直延伸的固体横壁;载运台(48)和卸物台(56)分别由一根载运臂(50)和卸载臂(58)支撑,载运臂(50)和卸载臂(58)的运行是相互独立的,所述载运台(48)和卸物台(56)均接近于第一表面(14)所在的一侧;所述机构(28,30)位于箱体(12)的中部隔室(24)下面的底部隔室(22)中,而基本单元(10)的控制器(34)位于上面的隔室(26)中,所述机构(28,30)接近于第二表面(16)所在的一侧。
地址 德国阿莱迈格尼